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江蘇半導體專用機器人微粉自動噴砂機

海恩特科技半導體微粉自動噴砂設備,是我司針對半導體行業微粉、納米級砂料噴砂工藝需求,精心研發設計的一款自動化噴砂設備。該設…

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海恩特科技半導體微粉自動噴砂設備,是我司針對半導體行業微粉、納米級砂料噴砂工藝需求,精心研發設計的一款自動化噴砂設備。該設備主要針對硅類(Si)、陶瓷、砷化鎵、碳化硅(SiC)、氮化硅(GaN)、石墨、石英等類型產品的高精度加工處理工藝,出砂量穩定,粗糙度非常均勻。

設備特點:

1.獨特的旋風分離器設計,通過特制風道均衡風量,實現細砂塵分離效果。

2.負壓噴砂系統,采用我司獨立自主研發的噴砂系統,出砂均勻穩定,解決傳統噴砂機細砂出砂抖動和脈沖問題。

3.工作時機艙為負壓狀態,粉塵不會外泄。配置專用濾筒除塵系統,整機排放完全達到國家環保要求。

4.壓力控制系統采用數值式傳感器(數控電氣比例閥),設定范圍0.1MPa~0.6MPa,可靠性高,精度高。PID控制精度±0.01MPa。

設備優勢:

1.六軸機器人自動加工處理,工件轉臺和機械手臂聯動控制,..控制出砂量、噴砂距離、噴砂時間,并記錄工藝參數。

2.采用新電離技術,通過高壓氣流將離子發生裝置產生的正負離子迅速吹向需除靜電的區域,中和物體上積累的靜電荷,同時高速離子氣流將靜電吸引的塵粒吹除。
海恩特科技,值得信賴的專業噴砂設備供應商。


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